




電子工業(yè)用氣體統(tǒng)稱電子氣體,指在半導(dǎo)體及其它電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中所用到的高純度氣體,是微納電子制造國家安全戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵支撐材料,其廣泛應(yīng)用于大規(guī)模集成電路、液晶顯示器、多晶硅和薄膜太陽能電池、新型電光源、光電半導(dǎo)體器件以及光纖通訊器件等電子行業(yè)。
近年來,隨著微納電子先進(jìn)制程向大尺寸、窄線寬、高集成度、高均勻性和高完整性發(fā)展,哪里供應(yīng)氣體,對電子氣體的純度和一致性要求越來越高,除了應(yīng)具有5 N (99.999%)以上純度,還要求電子氣體中的H2O、氣體雜質(zhì)(如O2、CO2、CO、CH4等)和金屬雜質(zhì)(如Al、Cr、Cd、Cu等)的指標(biāo)達(dá)到ppb (10?9)至ppt (10?12)數(shù)量級,氣體公司,氣體的品質(zhì)要求高度穩(wěn)定且一致。

石化用特種氣體安全貯運(yùn)編輯
1. 危險(xiǎn)品專車運(yùn)輸, 1好是廠家直接送貨并有合格的押運(yùn)員, 懂行的搬運(yùn)工, 輕裝輕卸。
2. 瓶帽必須配戴好, 避免在汽車急剎車及裝卸過程中撞開瓶閥發(fā)生危險(xiǎn), 特別是高純氫等易燃?xì)獾倪\(yùn)輸。
3. 禁止高純氧、空氣和可燃?xì)怏w混裝。 同時(shí), 嚴(yán)禁煙火, 運(yùn)輸工具上應(yīng)備有滅火器材。
4. 夏季運(yùn)輸應(yīng)有遮陽設(shè)施, 避免曝曬。
5. 有專用氣體倉庫貯存。氣瓶倉庫應(yīng)通風(fēng)干燥、清潔,常州氣體, 避免陽光直射, 氣瓶庫應(yīng)清楚地標(biāo)明“氣瓶貯存”字樣, 顯示適當(dāng)?shù)奈kU(xiǎn)標(biāo)記(例如易燃、易爆、有毒等) 。

電子特種氣體是以氣態(tài)形式存在于電子產(chǎn)品制造過程的特殊材料,之所以稱之為“特殊”,因?yàn)樗鼈円蟪兂瑑簦掖蟛糠钟卸靖蛘咭兹嫉刃再|(zhì)。對雜質(zhì)的要求,氣體圈子任路先生這樣說道,1個(gè)PPB的SPEC要求,相當(dāng)于對雜質(zhì)的要求是體積為120m i *90m*30m的3個(gè)足球場的空間內(nèi)不允許出現(xiàn)一個(gè)shai子(1cm長寬高的)雜質(zhì)!

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